规格(SPECIFICATION):
- 波长范围:350~850 nm
- 入射角:30°~90° (解析度:± 0.01°)
- 待测样品尺寸:up to 200mm
- 精度:1200A SiO2 标准片
- 厚度 (Tks): ± 2.5 A (3σ)
- 折射率 (N):± 0.01@ 632.8 nm
- 重复性:1200A SiO2 标准片 ( 5 times)
- 厚度 : ± 2.5 A (3σ)
- 折射率 : ± 0.005 @ 632.8 nm.
应用(APPLICATION):
- 太阳能电池: 减反膜工艺
- TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
- SEMI:
- High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
- Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …
供应上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州等地
具体型号和技术要求,欢迎您来电咨询。
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