产品名称:四氟化碳
CAS 号:75-73-0
四氟化碳又称四氟甲烷,氟利昂14;
分子式CF4;
物化性质:
熔点 | -183.6℃ |
沸点 | -128.1℃ |
液体密度 | (-130℃)1.613g/cm3 |
临界温度 | -45.67℃ |
临界压力 | 3.73MPa |
临界密度 | 7.1dm3/mol |
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体,具有很高的稳定性,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水。属于完全不燃性气体。
应用:
四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。
产品规格
项目 | 指 标 | |
CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99.995 |
N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 |
O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
CO, 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 |
SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 |
H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 |
HF, 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 |
TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 |
总杂质含量 ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 |
产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装,满足不同用户需求。
钢瓶规格 | DOT/47L | DOT/43L | DOT/8L | DOT/4L |
瓶阀型号 | CGA580 CGA590 CGA320 DISS716 |