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	四氟化碳产品名称：四氟化碳CAS 号：75-73-0四氟化碳又称四氟甲烷，氟利昂14；分子式CF4；物化性质：熔点-183.6℃沸点-128.1℃液体密度（	2023-11-22
	六氟化硫产品名称：六氟化硫CAS 号：2551-62-4产品规格项目指标SF6六氟化硫≥99.999%≥99.99%O2+Ar氧气+氩气≤2.0 ppmv≤10 ppmvN2氮气	2023-11-22