碳化硅舟应用于光伏电池片扩散设备。
我国到目前为止,高端半导体用碳化硅陶瓷依旧只能以进口为主,主要进口来源国为美国、日本。价格居高不下,交货期基本在24个月之上,严重制约我国半导体行业的发展。同时,由于贸易摩擦,此类产品已经在国防军工相关领域被禁用,国产替代势在必行。固勤研制的桨、舟及炉管已初步满足试产条件,正与中国电子科技集团展开合作,积极寻求进口替代。
碳化硅舟
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