我们或许会经常看到,有些当地说质量流量计,有些当地说质量流量控制器。其实,这是有差异的。
气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟规范毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟规范升)来表明。这意味着,这种仪表在不同的运用条件下,指示的流量均是规范状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要差异,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言,体积流量的表明办法很契合习惯﹑便于运用,但也有用户需要知道单位 时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很简略实现的。因为规范状态下的气体密度是一个常数,能够方便地查到,因此简略地做一个乘法(以密度乘以若干SLM)即可实现。所以说,在规范状态下的体积流量就等同于质量流量。