我们可能会经常看到,有些地方说质量流量计,有些地方说质量流量操控器。其实,这是有差异的。
质量流量计,即Mass Flow Meter(MFM ), 是一种精确丈量气体流量的仪表,其丈量值不因温度或压力的动摇而失准,不需求温度压力补偿。
质量流量操控器, 即Mass Flow Controller (MFC ),不光具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动操控气体流量,即用户可根据需求进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使体系压力有动摇或环境温度有改变,也不会使其违背设定值。质量流量操控器就是一个稳流设备,是一个能够手动设定或与计算机联接自动操控的气体稳流设备。
简单来说,质量流量计只丈量不操控。而质量流量操控器,则带有操控阀门,既能够丈量也能够操控气体流量大小。