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一条年产能力的太阳能电池片生产线,仅工艺和动力设备用电功率就在左右。工艺纯水的用量在每小时15吨左右,水质要求达到中国电子级水中级技术标准。工艺冷却水用量也在每小时15吨左右,水质中微粒粒径不宜大于10微米,供水温度宜在。真空排气量在左右。
同时,还需要大约氮气储罐20立方米,氧气储罐10立方米。考虑到特殊气体如硅烷的安全因素,还需要单独设置一个特气间,以保证生产安全。另外,硅烷燃烧塔、污水处理站等也是电池片生产的必备设施。