英微米光电(武汉)有限公司

UK MICRON OPTOELECTRONICS的表面粒子检测器系列通过以下技术实现电子半导体行业表面污染的量化监测和控制：

核心技术原理

界面颗粒再悬浮技术‌：采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，便于后续检测。

高精度光学检测：基于激光光学传感器和光散射原理，实时捕获悬浮粒子的散射光信号，实现单个粒子尺寸的精确分析。

关键性能指标

分辨率达0.1微米，支持纳米级颗粒检测；

配备静态采样模式，提升测量精度和稳定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制标准，满足半导体制造中对洁净度的严苛要求。

行业应用优势

减少50%以上的自净时间及颗粒数，缩短PM周期，提升制造效率；

通过实时监测表面污染，降低因颗粒导致的良率损失和可靠性风险；

适用于晶圆、光学元件、精密电路板等对洁净度敏感的生产环节。

系统集成设计

支持USB数据导出和软件升级，便于与工厂智能管理系统对接；

采用双电池热插拔设计，适应连续生产环境的需求。

该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。

传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次

测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒径分布误差：≤±30%

浓度示值误差：≤±30%

重复相对偏差：≤±10%FS

重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%

气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器

温度范围：-40 ～ 120℃

检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；

采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；

检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换

检测方式：定时检测、循环检测可设置     

报警方式：自定义数量报警值、质量报警值

限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器

法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等

合 规 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 规 性：符合21 CFR Part 11

通讯接口：RS232、R485、LAN-USB

存储模式：实时存储、定时存储可设置；可存储数据无限制

打印模式：可选配微型打印机打印数据

工作温度：5 ～ 45℃

工作电源：AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz

工作湿度：≤90%RH，无冷凝