英微米光电(武汉)有限公司

UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子计数器：突破0.1微米检测极限，重新定义半导体洁净度标准。

2025年3月6日——全球领先的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。

U-III搭载HeNe激光传感器，分辨率达0.1微米，支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。

静态采样模式：通过优化气流控制，减少测量误差，提升数据稳定性。

智能化设计与操作体验

7英寸高分辨率触控屏：支持实时数据可视化与交互操作，简化流程。

双电池热插拔系统‌：支持连续生产场景下的不间断作业，电池更换无需停机。

USB数据接口与软件升级‌：便捷导出检测报告，并可通过固件更新持续优化性能。

提升制造效率

减少50%自净时间‌：通过量化表面污染数据，缩短设备维护周期（PM周期），提升产线吞吐量。

延长MTBC（平均无故障周期）：结合颗粒控制策略，关键设备可靠性提升4倍以上。

覆盖高洁净场景

半导体制造：晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。

精密光学与电子：液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。

符合国际标准

产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范，为全球半导体厂商提供标准化检测工具。

市场评价与展望

U-III的发布标志着表面污染监测技术迈向纳米级精度时代。行业分析师指出，该设备通过量化颗粒数据与智能反馈机制，将推动半导体制造从“经验驱动”向“数据驱动”转型，进一步降低因微粒污染导致的良率损失。目前，U-III系列已获得多家国际头部晶圆厂的采购意向，预计将在2025年第二季度实现量产交付。

关于UK MICRON OPTOELECTRONICS‌

作为全球光电传感领域的领军企业，UK MICRON OPTOELECTRONICS持续深耕半导体检测与精密光学技术，其产品线覆盖表面微粒检测、激光粒度分析及高精度热成像等场景，服务客户遍及30余个国家与地区。

该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。

传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次

测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒径分布误差：≤±30%

浓度示值误差：≤±30%

重复相对偏差：≤±10%FS

重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%

气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器

温度范围：-40 ～ 120℃

检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；

采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；

检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换

检测方式：定时检测、循环检测可设置     

报警方式：自定义数量报警值、质量报警值

限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器

法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等

合 规 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921

合 规 性：符合21 CFR Part 11

通讯接口：RS232、R485、LAN-USB

存储模式：实时存储、定时存储可设置；可存储数据无限制

打印模式：可选配微型打印机打印数据

工作温度：5 ～ 45℃

工作电源：AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz

工作湿度：≤90%RH，无冷凝