英微米光电(武汉)有限公司

英微米表面粒子计数器U-III基于激光光学传感器和光散射原理，实时捕获悬浮粒子的散射光信号，实现单个粒子尺寸的精确分析。采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，便于后续检测。

该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。

传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次

测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；

          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；

          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；

          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；

          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；

          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;

粒径分布误差：≤±30%

浓度示值误差：≤±30%

重复相对偏差：≤±10%FS

重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%

气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器

温度范围：-40 ～ 120℃

检定标准：计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008