众星智能仪表（广州有限公司）

本产品采用MEMS质量流量传感器技术，能根据用户的需求提供 精确的在线流量计量。传感器采用独特的CMOS兼容MEMS工艺制 造，保证其具有极高的可靠性。传感器可测量低至0.01m/sec及高达 65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体 积流量及 介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以 保证高精度输出。 不同于其它MEMS传感技术，单个传感芯片上集成多个传感器。 芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的 灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没 有气体介质流过MEMS传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场 （温度分布）。当被检测气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流 体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流 体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量， 通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际 的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积 流量