PECVD技术资讯－PECVD技术动态

• PECVD技术间接法细分

  间接法又分成两种：(1)微波法：使用微波作为激发等离子体的频段。微波源置于样品区域之外，先将氨气离化，再轰击硅烷气，产生SiN …

  2016-09-23 PECVD系统 PECVD技术 PECVD技术间接法

• PECVD技术直接法具体细分

  (1)管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英 …

  2016-09-23 板式PECVD系统 PECVD技术 管式PECVD系统

• PECVD技术的分类

  用来制备SiNx膜的方法有很多种，包括：化学气相沉积法(CVD法)、等离子增强化学气相沉积(PECVD法)、低压化学气相沉积法(LPCVD法) …

  2016-09-23 PECVD PECVD技术